Wafer-Fused Orientation-Patterned GaAs.
(31/05/2013)
The fabrication of thick orientation-patterned GaAs (OP-GaAs) films is reported using a two-step process where an OP-GaAs template with the desired crystal domain pattern was prepared by wafer fusion bonding and then a thick film was grown over the template by low pressure hydride vapor phase epitaxy (HVPE). The OP template was fabricated using molecular beam epitaxy (MBE) followed by thermocompression wafer fusion, substrate removal, and lithographic patterning. On-axis (100) GaAs substrates were utilized for fabricating the template. An approximately 350 micrometers thick OP-GaAs film was grown on the template at an average rate of approximately 70 micrometers/hr by HVPE....
Tác giả: Li, J.; Fenner, D. B.; Termkoa, K.; Allen, M. G.; Moulton, P. F. |
Số trang: 9 |
Lĩnh vực: Hóa học |
Năm XB: 2008 |
Loại tài liệu: Khác
Tài liệu cần xác thực trước khi tải
Tiêu đề | Tải về |
| Số trang:
| Loại file:
|
miễn phí
|
© Copyright 2012 Trung tâm Thông tin Khoa học và Công nghệ - Sở Khoa học & Công nghệ TP. Cần Thơ
Địa chỉ: 118/3 Trần Phú - P.Cái Khế - Q.Ninh Kiều - TPCT
Điện thoại: 0292 3824031 Fax: 0292 3812352
|
|
Lượt truy cập:
(Website trong thời gian thử nghiệm)