Packaging a Liquid Metal ESD with Micro-Scale Mercury Droplet.
(31/05/2013)
Micro-Gas-Analyzers have many applications in detecting chemical compounds present in the air. MEMS valves are used to perform sampling of gasses, as they enable control of fluid flow at the micro level. Current generation electrostatically actuated MEMS valves were tested to determine their ability to hold off a given gauge pressure with an applied voltage. Current valve designs were able to hold off 98 psi with only 82 V applied to the valves. The valves were determined to be 1.83 times more efficient than older valve designs, due to increasing the electrostatic area of the valve and trapping oxide between...
Tác giả: NTIS |
Số trang: 40 |
Lĩnh vực: Hóa học |
Năm XB: 2012 |
Loại tài liệu: Khác
Tài liệu cần xác thực trước khi tải
Tiêu đề | Tải về |
| Số trang:
| Loại file:
|
miễn phí
|
© Copyright 2012 Trung tâm Thông tin Khoa học và Công nghệ - Sở Khoa học & Công nghệ TP. Cần Thơ
Địa chỉ: 118/3 Trần Phú - P.Cái Khế - Q.Ninh Kiều - TPCT
Điện thoại: 0292 3824031 Fax: 0292 3812352
|
|
Lượt truy cập:
(Website trong thời gian thử nghiệm)