CAST   TRITHUCKHOAHOC   LIBOL   CATEX [ Đăng Ký ] [ Đăng Nhập ]

Thống kê

Tổng tài liệu: 53365
Trong đó:
  • Bài Báo: 4532
  • Đề tài - Dự án: 379
  • Khác: 42729
  • Media: 85
  • Sách: 1045
  • Tiêu chuẩn/ Quy chuẩn: 4595

Danh mục tài liệu

  Khoa học Tự nhiên (16539)
  Khoa học Kỹ thuật (17907)
  Khoa học Đời sống (3301)
  Xã hội và Nhân Văn (1993)
  Khoa học Sức khỏe (8878)
  Tiêu chuẩn/Quy chuẩn (4747)

Danh mục Alphabet

A B C D E F G H I J K L M N O P Q R S T U V W X Y Z


A B C D E F G H I J K L M N O P Q R S T U V W X Y Z

 

Q4 Known Good Substrates. (05/04/2013)
The Known Good Substrates (KGS) Phase II program was initiated 29 August 2007. Wafer, epitaxy, modeling and metrology work has been the main focus of efforts in Q4. At the end of the fourth program quarter DCCSS has achieved step change improvements in crystal quality of 76mm diameter 4H n+ SiC crystals as assessed by MPD and HRXRD. Crystals grown in this quarter now exhibit an MPD range of 1-5/sq cm. HR-XRD tests are showing significant reduction of mosaic structure. MPD and mosaic structure now reaching parity with long term suppliers of SiC wafers. In epitaxy, process improvements have reduced...
Tác giả: Loboda, M. J.; Carlson, E. P.; Chung, G.; Lauer, R. S. | Số trang: 11 | Lĩnh vực: Điện - Điện tử | Năm XB: 2008 | Loại tài liệu: Khác
Tài liệu cần xác thực trước khi tải

Tiêu đềTải về
  | Số trang:
         | Loại file: .pdf
  miễn phí


Tài liệu liên quan
© Copyright 2012 Trung tâm Thông tin Khoa học và Công nghệ - Sở Khoa học & Công nghệ TP. Cần Thơ
Địa chỉ: 118/3 Trần Phú - P.Cái Khế - Q.Ninh Kiều - TPCT
Điện thoại: 0292 3824031   Fax: 0292 3812352
Lượt truy cập:
(Website trong thời gian thử nghiệm)